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通过在FFU(EFU)和洁净室循环空调机组中加装化学过滤器，对洁净室内离子气体污染物的浓度进行控制。
洁净室用化学过滤器的应用研究
【摘 要】
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通过在FFU(EFU)和洁净室循环空调机组中加装化学过滤器，对洁净室内离子气体污染物的浓度进行控制。
【机 构】
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世源科技工程有限公司
【出 处】
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中国勘察设计协会建筑环境与设备分会国防系统委员会第五届年会
【发表日期】
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2014年期
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