【摘 要】
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<正>研究了一种ZnO和AlN薄膜谐振器的分析方法,考虑了延伸模态、弯曲模态、基本厚度剪切以及二阶厚度剪切之间的耦合运动,参考Mindlin板理论将三维运动方程沿厚度方向的级数
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<正>研究了一种ZnO和AlN薄膜谐振器的分析方法,考虑了延伸模态、弯曲模态、基本厚度剪切以及二阶厚度剪切之间的耦合运动,参考Mindlin板理论将三维运动方程沿厚度方向的级数展开简化为二维,略去与运动无关的高阶项,引入修正系数.分析三维理论得到长波近似情况下一阶、二阶厚度剪切、厚度延伸模态的频率以及厚度延伸模态曲线的曲率,与二维理论比较以确定修正系数的值.最
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