用Bernoulli方程分析小间隙放电中的电极速度效应

来源 :2008年全国电磁兼容学术会议(EMC'08) | 被引量 : 0次 | 上传用户:rfvbgtyhnmju
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小间隙静电放电中电极速度对放电参数影响的内部因素,是当前受到众多研究者关心的问题.通过对实验数据的系统分析,应用流体力学中Bernoulli定律,对放电参数电极速度效应的内部原因,提出了较好的理论解释.电极快速运动速度造成了放电间隙气体压强的下降,从而加速了载流子从电极到靶的运动过程,进而改变了放电参数的数值.这对于进一步的研究给出了一种较为明确的方向.
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