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Effects of Radio-frequency and Pulsed Biases on Inductively Coupled Plasmas
【机 构】
：
School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024,Peop
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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