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该文的目的是为高灵敏度、集成化的微麦克风和扬声器的核心结构-PZT悬臂式振膜的实现奠定基础。利用锆钛酸铅(PZT)铁电体具有的优良的力电耦合特性,提出将PZT铁电薄膜与硅工艺相结合,研制悬臂式铁电-硅集成微麦克风和扬声器。利用多膜片模型对PZT振膜结构进行了优化设计,从而为集成微麦克风和扬声器核心结构的最终实现奠定了设计基础。