研制了超薄多层镜。由于它的特殊结构，使得它具有良好的导热性和极小的面形变化。用于测量镜面微变形的是泰曼干涉仪及干涉图象处理系统，该系统测量精度为０．０３μｍ。通过对干涉条纹细化、定干涉级次，然后对选定镜面区域进行多项式拟合，可得到镜面的三维面形图、伪彩色等高图及任何位置的面形截面曲线。也可就两个面形的拟合公式作相减处理，得到其相对面形，因而可测出镜面面形加工精度及变形后的相对变形量。为分析腔镜变形与它的结构参数的关系，研制了一种三明治夹心结构的径厚比为１５的水冷铜镜。实际测出的压力变形和热变形与薄板弹性力学分析的结论一致，为减小镜面变形希望镜子有大的弯曲刚度和薄的镜面。按这一规律，自行研制的回流式多层铜镜，经实测，在注入８６９０Ｗ激光（即吸收８６．９Ｗ）和０．１３ＭＰａ水压下，总变形为０．１０μｍ，比相同的情况下硅镜的变形还要小。