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日俄歇谱研究ＧＳＭＢＥ生长的ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ异质结构外延层中磷的固相组份与气相组份的关系
【机 构】
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中国科学院半导体材料科学实验室
【出 处】
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第四届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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1994年期
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