【摘 要】
:
军事、医学和航空航天等诸多领域对光学薄膜的需求与日俱增,而光学薄膜大多为氧化膜,中频磁控技术是制备氧化物光学薄膜的主要方法。中频溅射阴极作为核心部件,其刻蚀状态对
【机 构】
:
东北大学机械工程与自动化学院; 中国科学院大连化学物理研究所; 沈阳仪表科学研究院有限公司; 辽宁省植入器械与界面科学重点实验室;
论文部分内容阅读
军事、医学和航空航天等诸多领域对光学薄膜的需求与日俱增,而光学薄膜大多为氧化膜,中频磁控技术是制备氧化物光学薄膜的主要方法。中频溅射阴极作为核心部件,其刻蚀状态对膜层质量具有至关重要的作用。靶材的刻蚀与很多因素有关,包括真空室气体压力、温度及靶功率等。研究表明,磁场是控制靶材刻蚀的关键因素,直接关系到靶材利用率和沉积薄膜的特性。本文利用可移动式磁铁结构研究磁场对中频溅射阴极的影响机制。首先对靶材表面的磁场分布进行了仿真,然后利用高斯计对靶材表面的磁场分布进行了测量,最后对靶材的刻蚀剖面进行了表征,与仿真结果进行了比较研究。在本实验中,特别设计了可移动圆柱形磁铁结构,通过改变其位置控制弯道的刻蚀行为。研究发现:圆柱磁铁的运动控制靶面弯道处(距离靶材边缘15 mm-25 mm)的磁场,靶材表面其他位置的磁场基本不发生变化。进一步研究发现:在垂直磁场分量为零的地方,靶材刻蚀最深,该位置等离子体密度最大。此外,对靶材表面水平磁场进行分析,结合刻蚀形貌,发现水平磁场影响靶材刻蚀跑道的深度和宽度,水平磁场越大,刻蚀越剧烈,刻蚀宽度相应减小。垂直磁场和水平磁场均对靶材刻蚀有一定作用,本文提出靶材刻蚀角(空间磁场与靶面的夹角)作为衡量刻蚀情况的预测性指标。由于刻蚀弯道处磁场受圆柱磁铁的影响,因此通过仿真可以预测靶材的刻蚀位置。本文的研究结果可为阴极结构设计和提高靶材利用率的镀膜工艺开发提供参考。
其他文献
背景与目的骨骼系统转移是晚期乳腺癌常见并发症,也是导致乳腺癌患者生活质量下降和生存寿命减少的主要原因。在原发灶、循环和转移灶三个与转移相关的微环境中,骨微环境内的
目的对多发性骨髓瘤患者开展中医药膳、运动、心理等辨证施护和中医护理技术。方法本文介绍了四个不同证型多发性骨髓瘤患者的生活起居、饮食护理、情志护理和健康教育。结果
随着我国市场经济的不断提升,我国电力工程需要提高对电力通信的建设,提升电力通信建设的技术和水平。而科技的发展,导致人们对电力系统的安全性和通信建设的需求越来越多。
随着“互联网+”教育的不断推进及国家对创新型人才的大量需求,创客教育作为一种新型教育理念被提出。创客教育对即将步入高等教育阶段学生的创新意识、创新思维和创新能力提
运用逻辑分析法等,对武术观的生成及演进进行研究。主要结论:武术强身观是冷兵器时代的产物,并围绕着强身观形成了传统社会中以技击为主要特征的武术发展方式;武术健身观是近
立场,是研究者对其研究的态度和观点。近年来,立场表达在学术著作中受到越来越多的关注。许多学者对学术论文的研究发现,研究者不仅要对自己的研究进行客观的报道,还要用恰当
在城乡统筹协调发展的大背景下,如何扭转群众体育供给主体单一、资源配置效率低下、城乡差距明显的现状,逐步缩小群众体育发展的城乡差距及更好的满足城乡居民日益增长的多元
目的通过葡萄糖酸钙在卵巢过度刺激综合征(OHSS)高危患者取卵术后的应用来评估其在预防OHSS发生中的作用。方法选取2015年1月至2016年1月在荆州医院进行辅助生殖治疗的高危OH
<正>河曲是黄河文明的发祥地之一,为千里黄河、万里长城"双龙交汇"之地,是草原文化与中原文化的融合地带,素有"煤电之乡、杂粮基地、文化名城、白朴故里"之美誉。河曲文化底
应用奇异值分解 (SVD)方法分析了春夏青藏高原 ,四川盆地到我国东部 50 0hPa高度场与四川盆地气温场的关系。结果表明 ,春夏 50 0hPa高度场与四川盆地气温场关系密切 ,其第一