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激光干涉测量技术作为高精度位移测量的光学计量方法之一,受到了广泛的关注.激光干涉仪具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点,在精密和超精密测长领域得到了广泛的应用.本文分析了单频激光干涉仪和双频激光干涉仪的特点.
高精度位移测量的激光干涉仪分析
【摘 要】
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激光干涉测量技术作为高精度位移测量的光学计量方法之一,受到了广泛的关注.激光干涉仪具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点,在精密和超精密测长领域得到了广泛的应
【机 构】
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上海大学,精密机械工程系,上海,200072
【出 处】
：
2003第三届精密工程学术研讨会
【发表日期】
：
2003年期
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