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近年来，光电信号转换能力滞后和电子线路速率的限制已成为制约信息传输的瓶颈问题，解决此瓶颈的关键是开发新型超快的非线性光子器件以推动全光网络的发展.硫系玻璃材料具有超快非线性响应时间(＜100fs)、超高的三阶非线性折射率系数n2(20× 10-18 m2/W)、无自由载流子效应和可忽略的双光子吸收α2(～6×10-15 m/W)等优点，近年来作为超快全光信号处理集成光子器件的基质平台得到了极大关注[1].我们系统研究了Ge-Sb-Se块状玻璃材料的弹性模量、光学带隙和折射率与MCN之间的关系，确定了其结构稳定的MCN区域，并用微观拉曼结构分析了其相变阈值前后可能存在的结构变化[2].用Z-Scan技术测试硫系薄膜的三阶非线性系数，并研究了非线性系数与薄膜材料缺陷之间的关系[3].解决了4英寸Ge20Sb15Se65硫系薄膜沉积过程中组分和厚度均匀性等问题，采用Sellmerier方程给出了其材料的色散曲线，据此设计了脊型光波导结[4].利用光刻和ICP干刻技术获得了脊宽为14微米的Ge20Sb15Se65硫系光波导，研制的光波导具有极低的光传输损耗0.4 1dB/cm(TE)和0.45dB/cm(TM)，研究工作为进一步开发非线性应用的硫系光波导器件提供了科学依据.