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介绍了射频感性藕合C4F8等离子体的离解和电离机制;F、CxFy和离子等活性粒子及其比例的演化规律;初级与次级反应、背景气体的充裕性、EEDF高能电子的演变、以及各离解与电离反应阈值能量的差异性;从侧面反应器壁敦化薄膜沉积对内部活性粒子特性的影响;将来工作是在上述模型中考虑器壁敦化薄膜形成和消耗机制。