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铌酸锂(LiNbO3,LN)是赝钙钛矿结构,属于R3c空间群[1]。体单晶铌酸锂有着优良的铁电,压电,非线性光学和光电效应[2],因此,它一直是研究热点。而LiNbO3 薄膜材料的一些性能更优于体材料,例如它更易掺杂,生长多层结构等[3],有望制备性能更优异的光电集成器件,使得近年来LiNbO3薄膜受到科研工作者的关注。