【摘 要】
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本文采用Mo、WTi90-Au和TiW90-Au三种不同的金属薄膜作为玻璃深槽腐蚀的掩蔽层,研究不同掩蔽薄膜对玻璃腐蚀的横纵腐蚀比,并通过光学显微镜观察腐蚀表面形貌.实验表明,Mo具有
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621999
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文采用Mo、WTi90-Au和TiW90-Au三种不同的金属薄膜作为玻璃深槽腐蚀的掩蔽层,研究不同掩蔽薄膜对玻璃腐蚀的横纵腐蚀比,并通过光学显微镜观察腐蚀表面形貌.实验表明,Mo具有良好的抗氢氟酸性能,并且可以减小横纵腐蚀比.HF中加入HCl可以提高腐蚀速率,其速率是纯HF的两倍左右.该项研究在某些微结构制造中非常有用,如制作微通道,微槽,微传感器,微执行器等。
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