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本文利用电子束反应蒸镀技术在Si(001)衬底上低温外延生长了ZnO单晶薄膜，X射线衍射(XRD)分析显示ZnO薄膜具有高度c-轴取向,其衍射峰线宽比磁控溅射所得ZnO薄膜的线宽要小，还对高质量ZnO薄膜低温外延生长的机制进行了讨论。
用电子束反应蒸镀法制备的ZnO单晶薄膜的结构和光学特性
【摘 要】
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本文利用电子束反应蒸镀技术在Si(001)衬底上低温外延生长了ZnO单晶薄膜，X射线衍射(XRD)分析显示ZnO薄膜具有高度c-轴取向,其衍射峰线宽比磁控溅射所得ZnO薄膜的线宽要小，
【机 构】
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浙江大学物理系,杭州,浙江,310028
【出 处】
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华东三省一市第三届真空学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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