【摘 要】
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本文提出了一种基于PBG结构的0.5THz集成腔体滤波器.基于有限元法,对所设计的滤波器进行了仿真.考虑MEMS低成本、高性能和高加工精度的特点,采用MEMS工艺进行加工,并对MEMS工艺下的滤波器性能进行了分析.从仿真结果看,该滤波器具有良好的性能,通带带宽为7％,一倍带宽外带外抑制大于30dB,带内插入损耗小于1dB.
【机 构】
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毫米波与太赫兹波技术北京市重点实验室,北京理工大学100081
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本文提出了一种基于PBG结构的0.5THz集成腔体滤波器.基于有限元法,对所设计的滤波器进行了仿真.考虑MEMS低成本、高性能和高加工精度的特点,采用MEMS工艺进行加工,并对MEMS工艺下的滤波器性能进行了分析.从仿真结果看,该滤波器具有良好的性能,通带带宽为7％,一倍带宽外带外抑制大于30dB,带内插入损耗小于1dB.
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