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一种光透射技术法定量刻蚀膜的孔径的研究
一种光透射技术法定量刻蚀膜的孔径的研究
来源 :第十二届全国电分析化学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuyong19840815
【摘 要】
:
一种只需要利用紫外发射荧光光谱仪就可以精确定量PET(聚乙烯对苯二甲酸酯)刻蚀膜的孔径的全新的方法,方法定量孔径的测量范围可以这种从纳米级达到微米级.此方法具有可重复
【作 者】
:
王家海
杨丽
汪尔康
【机 构】
:
中国科学院长春应用化学研究所,吉林 长春,130022
【出 处】
:
第十二届全国电分析化学学术会议
【发表日期】
:
2014年期
【关键词】
:
光透射
技术
刻蚀
对苯二甲酸酯
荧光光谱仪
紫外发射
孔径
精确定量
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一种只需要利用紫外发射荧光光谱仪就可以精确定量PET(聚乙烯对苯二甲酸酯)刻蚀膜的孔径的全新的方法,方法定量孔径的测量范围可以这种从纳米级达到微米级.此方法具有可重复性、线性、操作简单,仪器易得和可依靠性等优势,这就可以为以后的工业生产不同大小孑L径的滤膜提供了潜在的应用价值。
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