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微机械加工技术发展概况
微机械加工技术发展概况
来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:easy69
【摘 要】
:
该文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展,并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
【作 者】
:
鲍敏杭
【机 构】
:
大学电子工程系,传感技术国家实验室
【出 处】
:
第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
微机械加工技术
技术发展
微机械技术
发展趋势
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该文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展,并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
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