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介绍了利用热导气相色谱分析仪测定氢气、氖气和氩气的三元混合气中各组分含量的分析方法,该方法能够满足电子芯片保护气产品质量检测的要求.
建立一种准确测定氢气、氖气和氩气三元混合气的分析方法
【摘 要】
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介绍了利用热导气相色谱分析仪测定氢气、氖气和氩气的三元混合气中各组分含量的分析方法,该方法能够满足电子芯片保护气产品质量检测的要求.
【机 构】
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武汉钢铁集团氧气有限责任公司,武汉市 青山区 430083
【出 处】
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2013年全国冶金企业制氧专业年会
【发表日期】
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2013年4期
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