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本研究采用TFA-MOD工艺成功制备出了YBCO超导薄膜，其超导转变温度接近91K。并设计制作了一套气氛可控旋转加热处理炉系统，用于大面积高质量超导薄膜制备。
YBCO超导薄膜的低成本化学溶液法制备与进展
【摘 要】
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本研究采用TFA-MOD工艺成功制备出了YBCO超导薄膜，其超导转变温度接近91K。并设计制作了一套气氛可控旋转加热处理炉系统，用于大面积高质量超导薄膜制备。
【机 构】
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清华大学物理系100084
【出 处】
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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2007年期
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