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该文主要研究了微波等离子体合成金刚石薄膜时成核工艺参数对成核密度和薄膜质量的影响。研究结果表明:提高成核密度有利于制备均匀致密、连续的金刚石薄膜。成核工艺参数应与薄膜生长工艺参数不同,成核时适当提高甲烷浓度、反应室压力和微波功率,可使成核密度提高1 ̄2个数量级。合成的金刚石薄膜具有优良的光学、生物学等性能。