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在微纳米操纵中，微载荷的获得非常困难。本文在现有的微载荷探测技术基础上，设计了一个悬臂梁微力传感器。它能感应微牛量级的载荷，灵敏度高，同时又能与微操作加载设备相连，完成微操纵中载荷的探测。随后利用光学干涉的方法，对传感器进行了标定，并用于测量AFM探针的模量。
微载荷传感器的设计、标定与应用
【摘 要】
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在微纳米操纵中，微载荷的获得非常困难。本文在现有的微载荷探测技术基础上，设计了一个悬臂梁微力传感器。它能感应微牛量级的载荷，灵敏度高，同时又能与微操作加载设备相连，完成微操纵中载荷的探测。随后利用光学干涉的方法，对传感器进行了标定，并用于测量AFM探针的模量。
【机 构】
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清华大学工程力学系，北京，100084
【出 处】
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北京力学会第13届学术年会
【发表日期】
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2007年7期
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