ELID磨削是一种高效的在线电解修锐磨削,被广泛用于硬脆性光学材料的高效率的超精密磨削。然而,通过具有固定磨粒的ELID磨削后的表面存在一些亚表面损伤和微裂纹,这些表面缺陷可以通过游离的磨粒进行抛光去除。磁流变光整加工是一种利用磁流变液对光学材料进行确定性的形状修正与抛光的新型超精密光整加工方法。本文提出了结合磁流变光整加工与ELID磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,它可以缩短总的加工时间,并能提高加工表面质质量。该组合工艺的过程是：ELID磨削作为预抛光进行高效率加工,获得高质量表面,然后采用磁流变光整加J二,以进一步提高表面粗糙度和形状精度。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅反射镜、碳化硅等光学材料进行超精密加工实验,并可以在短时间内得到亚纳米级的表面粗糙度和λ/20nm P-V的形状精度。