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油扩散泵一级喷嘴几何尺寸对其最大抽速影响的理论分析
油扩散泵一级喷嘴几何尺寸对其最大抽速影响的理论分析
来源 :中国真空学会真空获得与测量学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jipeng4610190
【摘 要】
:
该文依据真空技术的基本方程式及分子流态下进气口截面具有的流导其数值等效于泵的抽速,着重从扩散泵第一级喷嘴高度变化来分析对抽速大小的影响。
【作 者】
:
徐玉江
【机 构】
:
兰州真空设备有限责任公司
【出 处】
:
中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
油扩散泵
喷嘴
几何尺寸
大抽速
基本方程式
真空技术
高度变化
进气口
数值
面具
流态
分子
等效
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该文依据真空技术的基本方程式及分子流态下进气口截面具有的流导其数值等效于泵的抽速,着重从扩散泵第一级喷嘴高度变化来分析对抽速大小的影响。
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