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通过实验，定量地研究了热丝温度随热丝功率、气体压力和气体成分变化的规律。实验结果表明，热丝温度随热丝功率的增大、气体压力的下降及气体中甲烷浓度的下降而升高。在制备金刚石膜的一般工艺参数条件下，热丝功率中有相当一部分消耗于氢气和甲烷在热丝表面分解所吸收的热量。热丝温度要达到２０００℃以上，需要使热丝表面功率达到１６３０ｋＷ／ｍ〈’２〉以上。