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该文分析了影响红外探测器用蓝宝石窗口片质量参数的各种因素，对原有工艺进行了一系列改进，使窗口片质量参数达到预定要求，其中平行度达到：直径≤５ｍｍ，平行度≤３μｍ；直径３２ｍｍ，平行度≤１０μｍ；直径≤５０ｍｍ，平行度１５μｍ。
红外探测器用蓝宝石窗口片研磨工艺研究
【摘 要】
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该文分析了影响红外探测器用蓝宝石窗口片质量参数的各种因素，对原有工艺进行了一系列改进，使窗口片质量参数达到预定要求，其中平行度达到：直径≤５ｍｍ，平行度≤３μｍ；直径３２ｍｍ，平行度≤１０μｍ；直径≤
【机 构】
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市半导体技术研究所
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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