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会议论文
红外探测器用蓝宝石窗口片研磨工艺研究
红外探测器用蓝宝石窗口片研磨工艺研究
来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wrdyh
【摘 要】
:
该文分析了影响红外探测器用蓝宝石窗口片质量参数的各种因素,对原有工艺进行了一系列改进,使窗口片质量参数达到预定要求,其中平行度达到:直径≤5mm,平行度≤3μm;直径32mm,平行度≤10μm;直径≤
【作 者】
:
谢礼丽
步云英
【机 构】
:
市半导体技术研究所
【出 处】
:
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
红外探测器
蓝宝石
窗口片
平行度
质量参数
直径
工艺
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该文分析了影响红外探测器用蓝宝石窗口片质量参数的各种因素,对原有工艺进行了一系列改进,使窗口片质量参数达到预定要求,其中平行度达到:直径≤5mm,平行度≤3μm;直径32mm,平行度≤10μm;直径≤50mm,平行度15μm。
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