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本文介绍了国内外谐振式微加速度计的发展状况，分析了基于振梁轴向应力变化、基于振梁横截面积变化与基于静电刚度变化的等三类谐振式微加速度计的工作原理，并总结了种类谐振式微加速度计的特点及发展方向。
谐振式微加速度计的发展现状
【摘 要】
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本文介绍了国内外谐振式微加速度计的发展状况，分析了基于振梁轴向应力变化、基于振梁横截面积变化与基于静电刚度变化的等三类谐振式微加速度计的工作原理，并总结了种类谐振式
【机 构】
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西南交通大学机械工程学院 成都 610031；中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳 621900
【出 处】
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四川省电子学会2007年学术年会
【发表日期】
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2007年期
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