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会议论文
谐振式微加速度计的发展现状
谐振式微加速度计的发展现状
来源 :四川省电子学会2007年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sevenff
【摘 要】
:
本文介绍了国内外谐振式微加速度计的发展状况,分析了基于振梁轴向应力变化、基于振梁横截面积变化与基于静电刚度变化的等三类谐振式微加速度计的工作原理,并总结了种类谐振式
【作 者】
:
周吴
何晓平
苏伟
李柏林
【机 构】
:
西南交通大学机械工程学院 成都 610031;中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳 621900
【出 处】
:
四川省电子学会2007年学术年会
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
谐振式
微加速度计
应力变化
面积变化
工作原理
刚度变化
发展状况
轴向
种类
静电
横截
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本文介绍了国内外谐振式微加速度计的发展状况,分析了基于振梁轴向应力变化、基于振梁横截面积变化与基于静电刚度变化的等三类谐振式微加速度计的工作原理,并总结了种类谐振式微加速度计的特点及发展方向。
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