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随着核物理基础研究工作的不断深入,需要用到各种材料和厚度的靶.因此,核靶的制备技术主要包括两个方面:核靶的制备方法和厚度的控制.本文介绍了转动衬底、聚焦束溅射、冷轧、电子轰击、碳弧和离心沉淀等核靶制备方法;以及石英晶体膜厚仪、时间法、计算法等在线控厚技术和分光光度法、离子束背散射和天平称重等离线控厚技术.