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ECR等离子体中离子的磁电加热研究
【机 构】
：
武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北 武汉 430073
【出 处】
：
第十五届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
：
2011年期
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