【摘 要】
:
电解拋光属于电化学制程的一种,整个系统由阳极、阴极和电解液组成,此制程可以提高工件的洁净度、平滑性并在工件表面形成一层很薄的钝化膜,增加金属抗蚀性.在反应过程中,阳
论文部分内容阅读
电解拋光属于电化学制程的一种,整个系统由阳极、阴极和电解液组成,此制程可以提高工件的洁净度、平滑性并在工件表面形成一层很薄的钝化膜,增加金属抗蚀性.在反应过程中,阳极会产生氧气和粘稠层,阴极会产生氢气,所生成的粘稠层为电解拋光制程整平的主要影响机制.电极几何形状所造成的终端效应,会使电荷分布不均匀,影响阳极极化的均匀性,进而影响扩散控制机制,使得拋光后工件的表面去除量相差很多,严重影响工件几何精度的维持.研究主要探讨边际效应对电解拋光制程的影响机制与影响程度,采用FEMLAB 软件建立3 维的模型,仿真在不同电极面积、形状和间隙下,在电解拋光制程中表面的电荷分布情况,藉以了解边际效应在电解拋光制程的影响机制,并探讨对加工精度的影响程度.另外针对选定的参数进行实验,将拋光前后的试片以探针扫描仪量测表面轮廓的变化,再分析轮廓的变化以得到加工去除量分布的情况,验证数值计算的结果.透过数值计算结果和实验结果的比对,可以获得电极和加工去除量之间的影响关系,并了解电荷分布之结果,提升电极设计的能力,改善对制程加工精度的控制能力,增加拋光工件的品质与均匀度.
其他文献
本文介绍利用数字像元全息图技术制作体视数字像元全息图的原理及一种通过对多幅图像灰阶和位移的编码合成体视数字像元全息图的方法。实验中确定单幅拍摄图像分辨率为400dpi
单色光作用于生物体,其生物效应直接产生于辐射而不是热效应(温度升高不超过0.1-0.5°C),这种单色光的生物效应称为光生物调节作用。介导光生物调节作用有Karu 提出的线粒体通路
应用光学方法进行人体血糖浓度的无创伤检测的尝试已经有20 余年的历史,目前已经成为生物光学领域的热点课题之一,但就目前的研究结果所能达到的精度而言,还不能满足临床应用的
人们都知道多吃动物脂肪对身体健康有害。实际上,多吃植物油对身体的健康也有不利的影响,尤其是妇女多吃植物油害处更大。 据医学实验表明,植物油比动物油更容易被人体吸收,
超短脉冲压缩整形技术的发展使得在飞秒量级下利用双色场和啁啾脉冲相干控制光谱成为可能,相干控制过程已经被广泛应用到高次谐波的产生中。本文在没有采用旋波近似和慢变振幅
研究了置于两平行板间V 型三能级原子两跃迁通道间的由于自发发射出现的量子干涉现象,这里两平行板中至少一个磁化率趋近于无穷(μ→∞)。结果表明,由于真空的各向异性,尽管原子
将辅助微分方程(auxiliary differential equation,ADE)法用于线性半导体材料的色散研究。讨论了在线性条件下,半导体材料存在色散时介电率的频域响应表达式,并据此给出极化率的频
本文提出了构造时域扩频/波长跳频二维光正交码的新方案,构造了自相关旁瓣为0、互相关值小于等于1 的2D-OOC。该方案以自相关旁瓣为0、互相关值小于等于1 的单极性地址码作为
本文讨论了光场初态和热库性质对原子-场耦合系统量子非局域性的作用。我们发现如果腔损耗很弱,热库的平均光子数很小,系统会周期性的展现出量子非局域性。非局域性的消失速度依
设计制作了一种非硅基底的1×2 微机械光开关,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换,开关时间