【摘 要】
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电解拋光属于电化学制程的一种,整个系统由阳极、阴极和电解液组成,此制程可以提高工件的洁净度、平滑性并在工件表面形成一层很薄的钝化膜,增加金属抗蚀性.在反应过程中,阳
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电解拋光属于电化学制程的一种,整个系统由阳极、阴极和电解液组成,此制程可以提高工件的洁净度、平滑性并在工件表面形成一层很薄的钝化膜,增加金属抗蚀性.在反应过程中,阳极会产生氧气和粘稠层,阴极会产生氢气,所生成的粘稠层为电解拋光制程整平的主要影响机制.电极几何形状所造成的终端效应,会使电荷分布不均匀,影响阳极极化的均匀性,进而影响扩散控制机制,使得拋光后工件的表面去除量相差很多,严重影响工件几何精度的维持.研究主要探讨边际效应对电解拋光制程的影响机制与影响程度,采用FEMLAB 软件建立3 维的模型,仿真在不同电极面积、形状和间隙下,在电解拋光制程中表面的电荷分布情况,藉以了解边际效应在电解拋光制程的影响机制,并探讨对加工精度的影响程度.另外针对选定的参数进行实验,将拋光前后的试片以探针扫描仪量测表面轮廓的变化,再分析轮廓的变化以得到加工去除量分布的情况,验证数值计算的结果.透过数值计算结果和实验结果的比对,可以获得电极和加工去除量之间的影响关系,并了解电荷分布之结果,提升电极设计的能力,改善对制程加工精度的控制能力,增加拋光工件的品质与均匀度.
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