532nm和1064nm激光作为激光致盲武器中的两个常用的波长,可对人眼和光电传感器件造成严重损伤。本文利用TFCalc软件设计了基于非等厚周期结构的25层双波段负滤光膜,研究了PECVD技术获得SiOxFy、SiOxNy、SiNx三种低中高折射率材料的工艺参数与工艺技术,并完成了532nm和1064nm双波段激光防护负滤光片的制作。结果表明,射频功率为200w,工作温度为300℃,反应压强为30Pa,当SiH₄流量为60sccm,N₂O流量为58sccm,C₂F₆流量为10sccm时,可获得折射率为1.40的SiOxFy材料;当SiH₄流量为60sccm,N₂O流量为10sccm,NH₃流量为53sccm时,可获得折射率为1.72的SiOxNy材料;当SiH₄流量为70sccm,N₂流量为64sccm时,可获得折射率为2.05的SiOxNy材料。采用PECVD制作的双波段负滤光片在532nm和1064nm波长处的透过率分别为0.94%和3.55%,在3000⁵000nm波段范围的平均透过率为87.26%,实测曲线与设计曲线基本一致,如图1所示,满足设计要求。