【摘 要】
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目前应用在电容式传感器中的电容检测电路主要为分立式结构，存在有结构复杂，功耗较大，精度较低等缺点.新型集成电容检测芯片MS3110，适用于需要高分辨率电容检测电路的电容式传感
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
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目前应用在电容式传感器中的电容检测电路主要为分立式结构，存在有结构复杂，功耗较大，精度较低等缺点.新型集成电容检测芯片MS3110，适用于需要高分辨率电容检测电路的电容式传感器，它可通过编程调整输出缓冲器的增益、偏置、失调和带宽.片上带有EEPROM，能存储不同设置时的参数.本文论述了以51单片机为核心部件制作MS3110的编程硬件电路，以及用C51语言编写的软件的结构和功能.实验表明，电容式加速度计在采用MS3110作为电容检测线路后具有体积小，精度高，功耗低的优点.
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