【摘 要】
：
本文采用光辅助MOCVD技术在(100)p-Si和蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。通过光致发光(PL)谱、X射线衍射(XRD)仪和霍尔(Hall)测试等对薄膜的特性进行了表征,分析比较了光辅助对薄膜特性的影响。实验发现,光照可以改善薄膜的结晶质量和光学质量,并且光辅助条件下生长的薄膜具有更大的晶粒尺寸和较低的本底载流子浓度。分析其原因主要是由于光辅助有助于改善源的分解效率,并可抑制非故意引入的氢的掺
【机 构】
：
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室 长春 130012 大连理工大学物理与光电工程
论文部分内容阅读
本文采用光辅助MOCVD技术在(100)p-Si和蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。通过光致发光(PL)谱、X射线衍射(XRD)仪和霍尔(Hall)测试等对薄膜的特性进行了表征,分析比较了光辅助对薄膜特性的影响。实验发现,光照可以改善薄膜的结晶质量和光学质量,并且光辅助条件下生长的薄膜具有更大的晶粒尺寸和较低的本底载流子浓度。分析其原因主要是由于光辅助有助于改善源的分解效率,并可抑制非故意引入的氢的掺入所致。另外光辐照提供的高能光子可为反应生成的原子提供足够高的激活能,易于其迁移到合适的晶格位置,因此光照条件下制备的样品具有更好的质量。
其他文献
黑龙江省国际会议展览体育中心3号工程是一座5万人的国际标准综合体育场,体育场看台上方有两片相同的罩蓬结构,该罩蓬结构三维曲面造型,纵向长度为247.5m,横向最大长度64.2m,每片罩蓬面积约15000m.本文主要对体育场罩蓬的结构形式,设计参数取值,结构分析结果,关键技术问题处理等方面作了介绍,同时对该结构的一些设计特点进行了叙述.
销支座作为一种平面铰支座,在全国有广泛应用,但国内部分工程采用了销径小于销孔孔径的间隙销支座,本文结合一工程事例指出了国内已应用的间隙销支座存在的安全隐患,对间隙销支座进行了机动分析,揭示了销在销孔中的滚动规律,考察了间隙销的运动对结构受力和变形的影响.进而提出了销支座的设计建议,给出了销支座正确的构造和安装方法.
本文介绍了位于郑州市的河南省体育中心体育场网壳罩棚的安装经验,重点叙述了网壳的拼装顺序和拼装支架搭设等问题.并对网格划分中等弦长,杆件夹角等问题进行了探讨.
本文旨在探讨如何利用非线性有限元法进行风荷载作用下离散柱支承冷却塔的几何大位移分析,本文采用双曲薄壳元,建立了旋转薄壳结构在非对称荷载作用下的弹性大变形有限元理论,考虑了一些实际工程中旋转薄壳的边界条件为离散柱支承的情况.采用连续介质力学和微分几何,将离散柱支承和上部结构连接起来.采用本文编制的程序进行了计算,结果表明离散支承部分是整个结构最薄弱的环节,使壳体结构的反应加大,各谐波的耦合作用加强.
回顾上海地区空间结构的发展,实际是我国空间发展的一个缩影.本文介绍了建国以来,特别是20世纪80年代以来,上海地区空间结构的发展情况,并对未来的发展趋势作了展望.
重庆市某礼常是重庆市的重要建筑,跨度大,使用时间长,其穹顶网架和普通民用工程中的网架有很大的不同,鉴于该礼堂的重要性,必须对其受力性能进行整体分析,本文简要介绍了运用大型通用有限元程序ANSYS对该礼堂的穹顶网架结构进行整体数值分析的过程,根据分析结果,为穹顶网架承载力评估提供了依据,并得出了一些有价值的结论.其经验可供工程界同仁参考.
本文根据实际工程中存在的软弱地基不均匀沉降而造成的空间复杂杆系结构弹性支座刚度的不确定性问题,提出了数学反问题方法,分别建立了正问题与反问题分析的数学模型,并给出数学反问题解法的求解方法.绘制了计算框图,内力分析采用空间杆系有限元法,求解反问题方法为迭代法,本方法可对常用的空间结构周边支承形式或多点支承时的地基刚度进行调整以符合工程实际情况.最后给出了一个工程实例,参照西部地区湿陷性黄土特性,结合
在高温CVD工艺中广泛采用高纯石墨材料作为感应加热器件及以衬底托,为了防止石墨材料在高温作用下污染反应腔体,使用前一般要对石墨器材进行表面涂覆。SiC具有很强的化学惰性、高温稳定性以及高的热导率等优点,可以用于石墨器材的表面涂层。本文以CVD方法在石墨托上淀积了SiC,并对此工艺进行了研究。CVD淀积过程中碳源和硅源分别是乙烯和硅烷,流量分别为3sccm和1sccm,载气为氢气,流量为5slm,反
制备出应用于Si基薄膜电池的绒面MOCVD-ZnO薄膜,并尝试相应的CHCOOH湿法刻蚀表面处理。结果表明,处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大。适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池。
本文首次在AlO衬底上引入ZnO-AlO固溶层,并在该衬底上用金属源化学气相外延法(MVPE)生长出了高质量的ZnO单晶厚膜(10微米)。介绍了一种在C面蓝宝石衬底上引入ZnO-Al203固溶层的方法。用双晶X射线衍射仪对样品进行了θ-2θ和rocking curve测量。与直接在C面蓝宝石衬底上生长的ZnO厚膜样品相比,引入ZnO-AlO固溶层可明显提高ZnO单晶厚膜择优取向一致性和晶体质量。