Modulation of Spacer Layer for Improving the·Distribution of InGaAs Quantum Dots

来源 :第十四届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:onlibao
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  Semiconductor Quantum Dots (QDs) are nanoscale and three-dimensional structures, which shown to posses unique optical and electronic properties.It has a great potential of applications in high performance electronic and optoelectronic devices.In the present paper, vertical and lateral alignment of InGaAs quantum dots separated by GaAs spacer layers indicate that the thickness of spacer layer modulate the quantum dots space distribution.The surfaces of spacer layer with various thickness has been observed by scanning tunnel microscopy, and the results show various amount of holes formed on the surfaces, the morphology of spacer layer surface corresponds to the quantum dots distribution closely.Surface strain and surface diffusion on spacer layer surface together decide the distribution of multilayer stacked structure quantum dots.
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