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子孔径拼接检测作为凸非球面镜检测的常用方法，受到自身动态范围的限制，只能检测中小口径和小偏离量的凸非球面，且检测精度和效率低。为了扩大拼接检测的动态范围，提高检测精度，以用来检测大口径高陡度的凸非球面，本文提出基于子孔径拼接的大口径凸非球面单光楔补偿的面形检测方法。
基于子孔径拼接的大口径凸非球面单光楔补偿的面形检测方法研究
【摘 要】
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子孔径拼接检测作为凸非球面镜检测的常用方法，受到自身动态范围的限制，只能检测中小口径和小偏离量的凸非球面，且检测精度和效率低。为了扩大拼接检测的动态范围，提高检测精
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033;中国科学院大学北京100049
【出 处】
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第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2018年8期
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