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本文采用ICP-AFS法，利用仪器定量分析程序中的最大值方式，对氧化钇铈中稀土主成分及低含量的稀土及钙元素的测定进行了研究。对酸度的影响、分析线的选择、冷却气流量、工作功率、进样浓度等进行了考察。本法条件下，各被测主成分元素相对误差小于0.30％;各被测低含量稀土元素的测定下限小于0.0002％，相对偏差小于6％，标准加入回收率在95％-106％之间。方法简便、快速，结果可靠。