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该文首先提出一种新的三自由度机械系统数学模型及六阶参数的理论公式。然后通过激振试验得到导纳图,再用计算机辅助识别得机械系统的传递函数。最后以电仿形加工控制系统为例,特别考虑了机械系统的动态响应,采用模拟仿真技术及前馈串联校正函数,实现了主动控制。试验结果说明电仿形加工刀架机械系统的三阶等效质量与理论计算及刀称重三者基本一致,模拟仿真结果表明能实现正超精加工、精度为0.01微米。这为机床设计和控制以及精密加工提供了一个坚实的基础。(本刊录)