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低压等离子体增强化学气相沉积法(LP-PECVD)制备立方氮化碳薄膜
【机 构】
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大学物理系,加速器实验室
【出 处】
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97全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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1997年期
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