Research and Application of Micro-nano Thin Films Generated by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD)

来源 :2011传感器与MEMS技术产业化国际研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:quantity22
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  Research and Application of Micro-nano Thin Films Generated by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD)Jinsheng Liu.This paper from the following aspects were introduced:1. Important research achievement;2. The main theoretical monographs;3. Publications.such asa. Ion Beam Technology and Applications (1995);b. Ion Beam Deposition of Thin Films and Applications (2003);c. Thin Film Formation Process and Structure (2005);d. Introduction to the characteristics of hard amorphous carbon (2007).
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