二氧化钛是一种高效催化剂，在二氧化钛薄膜表面沉积纳米银颗粒形成纳米银/二氧化钛复合膜，不仅能够吸收紫外光还能够吸收可见光，并且减小电子与空穴的复合几率，因而提高了二氧化钛光催化效率，是目前研究的热点之一。本文用氧等离子体辐照进一步改善纳米银/二氧化钛复合薄膜的光催化性能。采用真空热蒸发和电子束蒸发镀方法在玻璃基体上制备纳米银含量不同的纳米银/二氧化钛复合薄膜，用射频辉光放电产生的氧等离子体辐照纳米银/二氧化钛复合薄膜，研究辐照时间对纳米银/二氧化钛复合膜光催化降解R6G效率的影响。结果表明，氧等离子体辐照能够明显改善纳米银/二氧化钛复合薄膜紫外和可见光光催化性能，改善程度与纳米银含量有关。根据SEM图和XPS谱，分析了氧等离子体辐照后纳米银/二氧化钛复合薄膜光催化效率提高机理。