【摘 要】
:
依据气体放电等离子体物理学知识,通过电磁场环境调控阴阳极间气体放电类型,利用不同放电形式对沉积粒子的属性进行合理控制,使沉积粒子具有较高的离化通量和离子能量,从而制
【机 构】
:
西安理工大学材料科学与工程学院,陕西西安 710048
【出 处】
:
中国工程院化工、冶金与材料工程第十一届学术会议
论文部分内容阅读
依据气体放电等离子体物理学知识,通过电磁场环境调控阴阳极间气体放电类型,利用不同放电形式对沉积粒子的属性进行合理控制,使沉积粒子具有较高的离化通量和离子能量,从而制备出微观结构致密且综合性能良好的纳米晶薄膜.实验分别在气体放电辉光区、辉弧过渡区和弧光区制备三组薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观结构进行测试,利用纳米压痕仪、划痕测试仪和电化学工作站对薄膜的力学性能和耐腐蚀性能进行评定.最终,实验结果表明:辉光放电区所沉积的Ti膜具有疏松多孔的组织结构和较差的膜基结合力;弧光放电区所沉积的Ti膜具有粗糙的表面质量(微米级大颗粒存在)和较差的膜基结合力.然而,气体放电处于辉弧过渡区时,所制备的薄膜具有纳米尺度的晶粒尺寸、致密光滑的微观结构、优异的耐腐蚀抗性和良好的膜基结合力.
其他文献
激光惯性约束聚变被认为是人类利用可控聚变反应获得清洁能源的一个重要,而且目前来看最有可能的途径。激光惯性约束聚变的基本原理是使用大能量、高功率的脉冲激光束照射
柔性智能可穿戴设备的快速发展提出了磁电功能器件柔性化的要求。由于磁性材料的逆磁致伸缩特性,弯曲或拉伸状态所产生的应力/应变会改变磁性薄膜的磁各向异性,从而影响磁
本文从微动运行模式出发,分十类归纳总结了现代工业各领域广泛存在的微动损伤现象。论文结合高速铁路、核电等典型微动损伤的研究,综述了21世纪以来微动磨损与微动疲劳的研
本文采用电化学交流阻抗技术详细研究了锌铝涂层的失效过程,采用模拟电路对锌铝涂层的电化学阻抗图谱进行了解析与拟合,计算了涂层在测试周期内的电化学参数,并与达克罗涂层
本文阐述了基于一维纳米结构的微纳器件研究进展及挑战,相比于其他材料结构,一维纳米结构具有离子扩散距离短、比表面积大和内部应力小等优点,在微纳能源存储器件及原位表征
高强钛合金是钛合金领域的一个重要分支,是航空、航天等装备制造不可或缺的关键结构材料。强度超过1000MPa的高强钛合金国内外均高度重视。我国高强钛合金发展已有50多年
纸基摩擦材料是一种多孔纤维增强树脂基复合材料,主要由纤维增强体、树脂、摩擦性能调节剂和填料等组成,具有动摩擦系数高、摩擦性能稳定、磨损率低等优点,广泛地应用于各种
超薄信息显示玻璃是电子信息显示行业不可或缺的关键材料,制造难度极大.介绍了国内外超薄信息显示玻璃的技术现状,针对我国发展超薄信息显示玻璃面临的主要难点,提出了化学成
随着信息技术的发展,人们对自旋电子学器件的高密度、低能耗和读写速度等提出了更高的要求.反铁磁材料相对传统的铁磁材料而言,由于其没有铁磁残余场,对磁场热扰动不敏感和理
采用k·p方法,理论搭建的外延结构的基础上,对大功率激光器的能带结构以及光电性能进行了计算.同时,采用MOCVD方法制备了相应的InGaAs/GaAsP多量子阱有源区的激光器外延片.通