【摘 要】
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本文介绍了对毛细漏孔气流的性质,漏率测量以及Q-P关系的研究.利用石英玻璃拉制的毛细渊孔漏率范围为1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),本文建立的一
【出 处】
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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会
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本文介绍了对毛细漏孔气流的性质,漏率测量以及Q-P关系的研究.利用石英玻璃拉制的毛细渊孔漏率范围为1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),本文建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s～1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2﹪～5﹪(k=2).
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