【摘 要】
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本文介绍的MEVVA源是一种产生金属离子种类多,束流强度大、离子种类纯度高、电荷剥离态高等优点的金属离子源。它可以产生从锂到铀周期表中全部固态金属元素的离子束及合化物
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本文介绍的MEVVA源是一种产生金属离子种类多,束流强度大、离子种类纯度高、电荷剥离态高等优点的金属离子源。它可以产生从锂到铀周期表中全部固态金属元素的离子束及合化物为导体的非金属元素的离子束。该源采取电动推进式可更换单阴极弧放电机构,加减速三栅引出系统,耐压水平大于5 0 k V,平均束流大于5mA,束班约Φ150mm,束的不均匀度小于±20%。束的分布测量表明,在中心区有约Φ40 mm的平顶区。我们已获得了Al.Tl、C r、Fe、Nl、C u、Y、Z r、M。、Ta、W、C、La B。等的离子束流及其最佳的运行条件。
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