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随着ICP-MS技术的不断发展，其灵敏度高，检出限低，稳定性好，可满足多元素的同时测定的优点为分析人员所运用，越来越多的地质样品依托于此仪器进行分析测定。但是质谱的同量异位素重叠干扰，多原子离子干扰，难熔氧化物干扰和双电荷离子干扰给复杂的地质样品分析带来了困扰。其中多原子离子质谱干扰是电感耦合等离子体质谱法中最严重干扰类型。本文研究了Ti、Ba、Ce、Pr、Nd对Cu、Zn、Eu、Gd、Tb的干扰，实验选择质量数65Cu、66Zn、66Zn、Eu、157Gd、159Tb作为测定同位素，用数学公式校正法校正了来自Ti、Ba、Ce、Pr、Nd的氧化物重叠干扰。