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文中讨论了中红外激光器中光参量振荡器(OPO)所用光学薄膜的设计和制备方法.针对激光晶体,如Tm:YAG和非线性晶体、ZnGeP2以及各种不同性能的耦合镜片,设计了多种薄膜类型,其中包括减反射、部分透过和截止滤光膜.根据软件优化结果,总结了超声波处理和离子束辅助等方法多次实际镀制的经验,同时简要介绍了膜层应用情况和所用设备,相关技术应用在中红外固体激光器中已取得了良好的使用效果.