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等离子体诊断是研究等离子体的空间反应过程、基片表面反应过程、优化刻蚀和沉积工艺的重要问题。该文综述了低温冷等离子体的诊断技术，结合研究人员自己的研究工作，着重分析了为适应研究的深入和应用的发展而在工作气体、放电机和澈励模式等方面不断改进和更新的等离子体诊断过程中，所碰到的各种困难及其解决办法和尚待解决的问题。