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以CuInGaSe2(CIGS)太阳能薄膜及其靶材为研究对象,概述了CIGS薄膜的各种制备方法,包括沉积法、置换法、蒸镀法及各种溅射法,介绍了溅射法制备CIGS薄膜所用靶材的加工工艺,分析并预测得出合金-靶溅射将成为工艺主流,而合金熔铸法将成为溅射靶材合理的制备工艺。
CuInGaSe2太阳能薄膜及其靶材制备技术发展与前景
【摘 要】
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以CuInGaSe2(CIGS)太阳能薄膜及其靶材为研究对象,概述了CIGS薄膜的各种制备方法,包括沉积法、置换法、蒸镀法及各种溅射法,介绍了溅射法制备CIGS薄膜所用靶材的加工工艺,分
【发表日期】
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2009年期
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