在建的高功率激光系统中,熔石英元件的抗损伤性能限制了激光器的输出能力和水平。研究表明,紫外激光老化处理一方面可以去除一部分杂质和表面污染,另一方面可以提前暴露亚表面缺陷,降低熔石英元件损伤密度,提高其抗损伤性能,因此需要探索其关键工艺参数。本文利用Nd：YAG激光器(波长355nm)和XeF准分子激光器(波长355nm)初步进行了实验,具体做法是,将酸蚀后的熔石英样片划分区域,采用光栅扫描的方式进行老化处理,完成后利用离线损伤测试平台进行考核。得到了经两种激光器和未经老化处理三个区域的损伤密度。然后改变XeF准分子激光器的扫描能量进行实验。结果表明,经紫外激光老化处理的熔石英片子的初始损伤密度大大降低了,经Nd：YAG激光器老化处理区域的损伤密度是未处理区域的1/3,经XeF激光器老化处理区域的损伤密度是未处理区域的5/6,这与外国文献报道的结果基本一致。下一步的工作是探索不同样片、扫描次数、扫描能量、考核能量和光斑拼接方式对老化处理的影响,优化参数,最大化地提高三倍频熔石英光学元件的抗损伤性能。