【摘 要】
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研究和优化了一种分步式扩散,并将其应用于PERC的选择性发射极上,选择性发射极的形成是通过刻蚀发射极的方式形成.相较于传统的一步式扩散,分步扩散具有更低的表面浓度以及饱
【机 构】
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江苏省光伏科学与工程协同创新中心,常州大学,213164
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
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研究和优化了一种分步式扩散,并将其应用于PERC的选择性发射极上,选择性发射极的形成是通过刻蚀发射极的方式形成.相较于传统的一步式扩散,分步扩散具有更低的表面浓度以及饱和电流密度J0e.对比了分步扩散三种不同方阻(45Ω/□,55Ω/□,65Ω/□)以及一步扩散方阻(60Ω/□)的接触电阻Rs,刻蚀前后的饱和电流密度J0e.,刻蚀后的方阻都控制在140Ω/□左右.相对于传统的一步式扩散,方阻55Ω/□的分步式扩散的效率最高,提升了0.15％.
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