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本文通过介绍检漏仪及氟油平台在电子工业的应用,系统的介绍了氦质谱检漏仪的原理、电子工业中几种常用检漏方法,并重点介绍了ZQJ-230E型氦质谱检漏仪及充氦充氮氟油检漏平台的性能及主要特点。
在电工电子工业中应用的氦质谱检漏仪及其辅助设备
【摘 要】
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本文通过介绍检漏仪及氟油平台在电子工业的应用,系统的介绍了氦质谱检漏仪的原理、电子工业中几种常用检漏方法,并重点介绍了ZQJ-230E型氦质谱检漏仪及充氦充氮氟油检漏平台
【机 构】
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北京中科科仪技术发展有限责任公司;
【发表日期】
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2004年期
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