电感耦合等离子体质谱技术以灵敏度高、检出限低、可测定元素多、线性范围宽、可进行同位素分析、应用范围广等优势，被公认为最强有力的痕量超痕量无机元素分析技术。随着相关应用领域对该技术需求的不断拓展和应用，国内引进的300多台各种型号的ICP-MS被应用在不同研究领域。然而，在使用过程中真空部件出现了损坏，原型号的真空部件由于各种原因在市场上买不到，只能寻找其他厂家其他型号的真空部件。由于ICP-MS属全自动智能化仪器，各部件的状态和运行都由微机控制，更换任何一部件，只要与原部件型号不一样，都要考虑它与系统的兼容性问题。如何把型号不一样的、性能更好的部件用到仪器上，并能使系统识别和运行新部件，是维修中的难点。本工作就真空系统的维修，介绍了为更换分子泵和真空规而进行的控制线路的改造。